Felületbevonási eljárás, amellyel fémes és szigetelőanyagú bevonatok állíthatók elő. A gáztér hidegkatódos gázkisüléséből származó ionok a katódközeli sötét térben felgyorsulva bombázzák a porlasztandó anyagot és abból semleges atomokat ütnek ki. Ezek szóródva, a közelben elhelyezett tárgy felületére rakódva bevonatot képeznek. A porlasztást általában argon atmoszférában végzik, mely a porlasztandó anyaggal nem lép kémiai kötésbe. Ha nitridet, oxidot kívánnak porlasztással felvinni, akkor argon-nitrogén, ill. argon-oxigén keveréket használnak (?reaktív" porlasztás). A porlasztáshoz használtberendezések fajtái: diódás egyenáramú porlasztó, triódás egyenáramú porlasztó, nagyfrekvenciás porlasztó. Ez utóbbiak szigetelő réteg porlasztás sal való felvitelére is alkalmazhatók. A porlasztás tantal alapú vékonyréteg-áramkörök gyártásában általánosan használt technológiai művelet.