Külső, elsősorban elektrokémiai hatásoknak ellenálló felület, amely védi az alatta levő rétegeket. A planár tranzisztor és a szintén planár technológiával készülő félvezető alapú monolit integrált áramkör esetén a szilícium alaplemez felületét oxidálják, és a keletkező szilícium-dioxid passziválja (védi) a felületet, és az alatta levő elektromosan aktív területeket. Az említett eszközök ezért oxidvédett félvezető eszközök. Germánium alapanyagból készült tranzisztor is védhető szilícium-dioxiddal, ahhoz azonban a szilícium-dioxidot külön fel kell vinni a germánium felületére, pl. megfelelő gázhalmazállapotú vegyület passzivált felület elbontásával. egyéb módon is készíthető, (pl. üveggel, különböző lakkokkal stb.)
Lásd még:
